系列渦旋干式真空泵
泵內無油,可獲得清潔的真空環境;低噪音;無需水冷,耐腐蝕;操作簡便,維護費用低廉。
薄膜制備設備、大科學工程與化學分析;
半導體封裝設備等無油抽氣系統的配泵;
分子泵的前級泵;
醫療儀器、生物制品與藥品制備;
食品、藥品等包裝設備;
特氣回收、液晶注入。