羅茨干式真空泵機組 (JGH系列) 產品特點是無油，可獲得清潔的真空環境，可在多粉塵、強腐蝕工藝環境下使用，自動控制系統模塊化，具備遠程控制接口，零維護、可靠性高、能耗低。
羅茨干式真空泵機組（JGH系列）
產品說明羅茨干式真空泵機組 (JGH系列) 產品特點是無油，可獲得清潔的真空環境，可在多粉塵、強腐蝕工藝環境下使用，自動控制系統模塊化，具備遠程控制接口，零維護、可靠性高、能耗低。
重點應用：集成電路、太陽能電池、LED領域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。
其他應用：
真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；
真空鍍膜系統（玻璃鍍膜、精密光學等）；
真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等。
