JGM、JGH系列多級干式真空泵，結合羅茨與爪型轉子吸氣原理，通過多級轉子的優化組合，最大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢，從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速，高效地實現了潔凈真空環境的獲得。
羅茨干式真空泵機組(JGM系列)
產品說明JGM、JGH系列多級干式真空泵，結合羅茨與爪型轉子吸氣原理，通過多級轉子的優化組合，最大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢，從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速，高效地實現了潔凈真空環境的獲得。
重點應用：
集成電路、太陽能電池、LED領域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。
其他應用：
真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；
真空鍍膜系統（玻璃鍍膜、精密光學等）；
真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等。
