2011年開始維修，技術來源自原先臺灣日揚。從2012年至2014年年維修量逐步遞增，至2014年，年維修量已突破80EA/年。主要維修型號：ADS 602、1202 ADP122;ACP 15、28等，現主要客戶：臺積電（TSMC-10)、上海先進（ASMC）、晶科能源、天津中環等。